X’Pert³ MRD

MRD, MRD XL

Los X’Pert³ MRD y MRD XL son difractómetros de rayos X de alta resolución para investigación de materiales, películas delgadas y metrología de semiconductores, con mapeo completo de obleas de hasta 100 mm y 200 mm.

Marca: Malvern Panalytical
Técnica: Difracción de rayos X (XRD)
Modelos: X'Pert³ MRDX'Pert³ MRD XL
Industrias: Academia Otras industrias

Disponibilidad: este equipo se comercializa en toda la región.

Los X’Pert³ MRD (Materials Research Diffractometer) miden calidad cristalina, espesor, tensión y composición de capas en obleas monocristalinas, películas delgadas policristalinas, capas amorfas y nanomateriales, con difracción de alta resolución, mapas del espacio recíproco, textura, tensión residual y rugosidad de interfaces. Sus módulos PreFIX permiten cambiar de configuración y actualizarlos en el lugar, y admiten la platina no ambiental DHS1100 de Anton Paar para medir en condiciones controladas.

Modelos de la serie

X’Pert³ MRD: mapeo completo de obleas de hasta 100 mm.
X’Pert³ MRD XL: mapeo de obleas de hasta 200 mm y una plataforma PreFIX adicional para montar en línea un espejo de rayos X y un monocromador de alta resolución, que aumenta la intensidad del haz incidente.

Características

Goniómetro horizontal de 420 mm con codificadores Heidenhain; rango −40° < 2θ < 160° según accesorios.
Exactitud de ±0,0025° en rango largo; reproducibilidad <0,0002°; incremento mínimo de 0,0001°.
Cuna de 5 ejes con desplazamiento x-y de 200 × 200 mm², Chi ±92° y Phi 2 × 360° (MRD XL).
Generador de 3 kW; tubos cerámicos con ánodo de Cu, Co o Cr; cambio de foco lineal a puntual sin herramientas.
Opción de difracción en el plano (in-plane); compatibles con SECS/GEM y sala limpia ISO 4.
1370 × 1131 × 1972 mm y 1150 kg.