Crystal Orientation – SDCOM

La medición rápida y precisa de la orientación del cristal nunca ha sido tan accesible: conozca el SDCOM, su XRD compacto fácil de usar. El método de escaneo azimutal libera una medición ultrarrápida, con resultados en menos de diez segundos.

El Crystal Orientation SDCOM es la solución ideal para muchas aplicaciones dentro del procesamiento y la investigación de obleas, en las que entrega el nivel de precisión más alto de hasta 0,01^o.

• Mediciones ultrarrápidas: todos los parámetros deseados de orientación cristalina se capturan en una única rotación de la muestra, es decir, en tan solo 10 segundos.
• Variedad de tamaños de muestra: mide muestras desde 1 mm de diámetro hasta 200 mm de diámetro.
• Análisis y determinación de orientación totalmente automatizados: adecuado para cualquier material monocristalino.
• Desviación estándar típica (Si 100): magnitud de inclinación < 0,01°, dirección de inclinación < 0,03°.
• Tiempo de actividad: > 99%.
• Capacidad de escaneo theta: ideal para investigaciones avanzadas y caracterización de materiales.
• Tecnología de transferencia: permite orientar hasta 6 cristales en un solo haz de corte.
• Listo para integración con sistemas MES como SECS/GEM.
• Algunos ejemplos de materiales medibles incluyen los siguientes (método de escaneo azimutal):

• • Cúbico, orientación desconocida arbitraria: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
  • Cúbico, orientación especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
  • Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
  • Hexagonal y trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (cuarzo), Al2O3 (zafiro), GaPO4, La3Ga5SiO14
  • Ortorrómbico: Mg2SiO4, NdGaO3
  • Cualquier otro material cristalino individual

Ventajas y beneficios

• Rápido y preciso: método de escaneo azimutal: El método de escaneo azimutal requiere solamente una rotación de medición para reunir todos los datos necesarios a fin de determinar por completo la orientación, lo que proporciona resultados en un plazo de 10 segundos sin comprometer la precisión. La muestra se gira 360o, con la fuente de rayos X y el detector posicionados para lograr un determinado número de reflejos por giro. Estos reflejos permiten la orientación de la red de cristales que se va a medir en relación con el eje de rotación con una alta precisión de hasta 0,01o.
• Compacto y versátil. Gracias a su forma ligera y compacta, el SDCOM es fácilmente integrable en la investigación o los procesos industriales. El software XRD Suite es potente e intuitivo, por lo que es conveniente y fácil de operar para una variedad de usuarios. La flexibilidad es clave para el SDCOM, que es especialmente clara en la gama de materiales que puede medir. El SDCOM puede medir cristales desde 2 hasta 300 mm de diámetro. Para una mayor flexibilidad, el SDCOM también es compatible con Theta-Scan. Con esto puede cubrir una gama aún mayor de materiales y cortes. También existen diversos soportes de muestra y accesorios de transferencia que pueden ampliar aún más las posibilidades de las aplicaciones de su SDCOM, lo que garantiza la compatibilidad con su flujo de trabajo. Las etapas manuales y motorizadas de mapeo de obleas también están disponibles.
• Rentable. El tubo de rayos X del SDCOM se refrigera por aire, lo que elimina la necesidad de un enfriador o un circuito de agua de refrigeración. Gracias a la eficiencia y el pequeño tamaño del SDCOM, su consumo de energía se mantiene al mínimo, al igual que sus costos de funcionamiento.

• Marcado y medición de direcciones en plano. El SDCOM ofrece mediciones de orientación del cristal ultrarrápidas y muy precisas, ideales para una amplia gama de aplicaciones en la producción y el procesamiento de obleas, incluido el marcado y la medición de direcciones en plano. Dado que es ligero y portátil, se puede implementar dondequiera que lo necesite en su proceso. Capaz de medir cristales pequeños de hasta 1 mm con alta precisión y una amplia gama de materiales, el SDCOM está bien situado para soportar las necesidades complejas y cambiantes de la industria de los semiconductores.
• Control de calidad de producción. El control de procesos rutinario exige velocidad, precisión y repetibilidad, y el SDCOM cuenta con ello. Su velocidad de medición ultrarrápida le dará un impulso a su productividad sin tener un gran impacto en sus costos de funcionamiento, gracias a su formato de escritorio y tubo de rayos X enfriado por aire.
• Investigación de materiales. Capaz de medir una gama versátil de tipos de cristales dentro de un laboratorio con poco espacio, el SDCOM es ideal para flujos de trabajo de investigación estándar. Los costos de funcionamiento se mantienen bajos gracias al consumo de energía minimizado y a un tubo de rayos X enfriado por aire sin necesidad de refrigeración por agua. El SDCOM también es accesible y fácil de operar con manipulación manual, lo que lo convierte en una solución práctica para laboratorios de investigación con muchos usuarios diferentes.