El Tescan Solaris 2 es un sistema FIB-SEM totalmente automatizado diseñado específicamente para la preparación de lamelas TEM con altísima precisión en entornos semiconductores. Integra un haz de iones de galio (Ga⁺) con óptica de vanguardia (columna Orage™ 2) junto con la columna de SEM Triglav™, lo que le permite ofrecer una resolución ultra alta y un control milimétrico durante el milledado y pulido de muestras.
Gracias al software AutoTEM Pro™, potenciado por inteligencia artificial (IA), el SOLARIS 2 ejecuta flujos de trabajo de preparación de lamelas en geometrías variadas (top-down, planar, invertida) de forma automática, reduciendo significativamente la intervención del operador y mejorando la reproducibilidad entre lotes. Además, su diseño con OptiLift™, un nanomanipulador especializado, facilita el levantamiento (lift-out) de las lamelas sin necesidad de cambiar manualmente o dar vuelta la muestra, lo que acelera y simplifica el proceso.
El sistema cuenta también con alineaciones automáticas nocturnas —tanto de la columna de SEM como de la de iones—, asegurando que el equipo esté siempre listo para trabajar y minimizando tiempos muertos. La columna SEM Triglav™ utiliza óptica de inmersión con control fino, lo que garantiza imágenes de gran sensibilidad y contraste incluso en superficies delicadas o sensibles al haz.
Asimismo, el SOLARIS 2 fue optimizado para la industria de semiconductores, permitiendo procesar dispositivos de vanguardia como nodos sub-10 nm, transistores GAA o estructuras FinFET, gracias a su capacidad de endpointing de precisión milimétrica. Las capacidades automatizadas y la alta resolución combinadas hacen de este FIB-SEM una herramienta poderosa para laboratorios de análisis de fallas (failure analysis), I + D y control de calidad en producción de semiconductores.
