El analizador de láminas 2830 ZT de fluorescencia de rayos X con dispersión de longitud de onda (WDXRF, por sus siglas en inglés) ofrece la capacidad más reciente para medir el grosor y la composición de películas.

Fluorescencia de Rayos X

2830 ZT Baffer Analyzer

El analizador de láminas 2830 ZT de fluorescencia de rayos X con dispersión de longitud de onda (WDXRF, por sus siglas en inglés) ofrece la capacidad más reciente para medir el grosor y la composición de películas.

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2830 ZT: Solución avanzada de metrología de película delgada de semiconductores

El analizador de láminas 2830 ZT de fluorescencia de rayos X con dispersión de longitud de onda (WDXRF, por sus siglas en inglés) ofrece la capacidad más reciente para medir el grosor y la composición de películas. Diseñado específicamente para la industria de semiconductores y de almacenamiento de datos, el analizador de láminas 2830 ZT permite determinar la composición, el grosor, los niveles de dopaje y la uniformidad de la superficie de las capas para una amplia gama de láminas de hasta 300 mm.

  • Capacidad y velocidad continua
  • El tubo de rayos X SST-mAX de 4 kW cuenta con la innovadora tecnología ZETA, que elimina los efectos de envejecimiento del tubo de rayos X. El rendimiento de este “nuevo tubo” se mantiene durante toda la vida útil del producto y, junto con una alta sensibilidad, la tecnología ZETA garantiza que se conserve el análisis rápido y los tiempos breves de medición durante toda la vida útil del tubo. La tecnología ZETA reduce sólidamente la necesidad de corregir y recalibrar las desviaciones, lo que aumenta la productividad y el tiempo de actividad del instrumento.
  • Tiempo de actividad maximizado
    Los tubos de rayos X convencionales sufren la evaporación del tungsteno, lo que generar depósitos dentro de la ventana de berilio del tubo. La instrumentación con dichos tubos de rayos X requiere corregir la desviación regular para compensar la reducción de intensidad, especialmente para los elementos ligeros.

  • La implementación del tubo SST-mAX en el 2830 ZT resuelve este problema de desviación, lo cual aumenta el tiempo de actividad y mantiene la precisión del instrumento en el tiempo.
  • Fácil de usar
  • El 2830 ZT es suministrado con el software avanzado SuperQ, que incluye FP Multi, el paquete de software diseñado específicamente para el análisis de varias capas. La interfaz de usuario del software garantiza que incluso los operadores sin experiencia puedan realizar análisis de parámetros fundamentales completamente automatizados de varias capas.
    El software SuperQ del instrumento tiene una amplia gama de módulos de uso sencillo, diseñados para una operación flexible por parte de investigadores e ingenieros. Realizar el cambio entre recetas es fácil, al igual que ajustar los parámetros del equipo para adaptarse a las preferencias del usuario.

  • FALMO-2G
  • El FALMO-2G se integra fácilmente en cualquier laboratorio o fábrica: desde la carga manual simple de soportes hasta la automatización completa. Un diseño completamente flexible permite al gerente de la fábrica seleccionar entre contenedores unificados de apertura frontal (FOUP, por sus siglas en inglés), interfaces mecánicas estándar (SMIF, por sus siglas en inglés) o puertos de carga de cartucho abierto, con una configuración de puerto simple o dual. Las diversas configuraciones del FALMO-2G son todas compatibles con software que cumpla con GEM300. La necesidad de espacio del FALMO-2G se ha minimizado, sin comprometer la flexibilidad ni la funcionalidad.
  • Operación flexible
  • El software SuperQ del instrumento tiene una amplia gama de módulos de uso sencillo, diseñados para una operación flexible por parte de investigadores e ingenieros. Realizar el cambio entre recetas es fácil, al igual que ajustar los parámetros del equipo para adaptarse a las preferencias del usuario.
  • Otras industrias.

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